短讯,虽然顶级光刻机的研发,站稳28nm

编辑:小优 2020-01-16 22:41:09 互联网
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文章简介:攀登科技高峰,需掌握先进生产工具光刻机作为当今社会最尖端的生产资料,能否熟练运用、掌握乃至逆向,关乎科技强国之本。具备自主知识产权的国产光刻机仍处于前期的研证阶段虽然顶级光刻机的研发、生产及被全球为数

攀登科技高峰,需掌握先进生产工具

光刻机作为当今社会最尖端的生产资料,能否熟练运用、掌握乃至逆向,关乎科技强国之本。

短讯,虽然顶级光刻机的研发,站稳28nm(图1)

具备自主知识产权的国产光刻机仍处于前期的研证阶段

虽然顶级光刻机的研发、生产及被全球为数不多的利益集团掌控、把持,且我国在采购国际顶级光刻机遭遇了不公待遇甚至禁售、恶意断供。但仍不能阻碍我国顶级科技企业、一流科研人员对现有设备、生产线的掌握及运用:

1月12日:中芯国际(南方厂)新建的14nm生产线运行投产。

中芯国际14nm生产线将具备月产35000片晶圆的产能规模。

华虹集团两年内投产两条12英寸晶圆生产线。

华虹65/55/28nm级别生产线均已量产并对接商业化运作。

华虹22nm生产线研发验证阶段已达后期收尾阶段。

华虹研发阶段的14nm生产线已全线贯通,SRAM良品率25%,有望在2020年获得突破。

弘芯半导体于2019年12月22日完成光刻机入厂仪式,成为国内第三家14nm晶圆厂.

短讯,虽然顶级光刻机的研发,站稳28nm(图2)

我国已有中芯、华虹、弘芯三家具备14nm/12nm生产线的晶圆厂

总结

完成光刻机的全产业链自主化生产制造,对当前的政治、经济局面而言不现实。因此,创造尽可能完善的条件,增设、掌握可供流通的14nm、12nm等光刻机生产线是符合当下各方战略制衡的缓兵之道。

短讯,虽然顶级光刻机的研发,站稳28nm(图3)

毕竟,连Intel都开始重启多年前的22nm生产线制作老型号的CPU产品,我们的晶圆厂利用现有设备踩实、站稳28nm、14nm、12nm产品的研发生产,仍可为之一战。

本文相关词条概念解析:

光刻机

光刻机/紫外曝光机(MaskAligner)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫MaskAlignmentSystem.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography(光刻)意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

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